BCB無氧烘箱,BCB固化烤箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
PI真空烘箱,真空無氧PI烤箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
精密充氮烘箱,多箱式氮氣烘箱適用于半導(dǎo)體烘烤工藝,五金,塑膠,玻璃制品,陶瓷,電子元器件,線路板的印刷,涂裝,點膠低溫預(yù)烤和高溫固化等。
鼓風(fēng)式真空烘箱,真空鼓風(fēng)干燥箱用于半導(dǎo)體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、PBO膠固化,LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。